ASMI高k設備向臺灣代工廠出貨 TEL購買ASMI股份
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ASM International透露其競爭對手Tokyo Electron Ltd.已收購了其4.9%的股份。
本文引用地址：//tjguifa.cn/article/93958.htmASMI還宣布某家臺灣代工廠已選擇了ASMI的Pulsar原子層淀積(ALD)設備，用于28nm節點高k柵介質工藝的量產。
業界猜測該代工廠是臺積電。臺積電正在開發28nm高k金屬柵工藝，但該公司拒絕對細節進行評論。其競爭對手聯電也在開發28nm高k工藝。
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