Toppan宣布28nm光刻掩膜準備就緒 通過IBM認證
作者:
時間:2009-04-28
來源:SEMI
Toppan Printing公司在同IBM的合作下,開發出新的光刻掩膜制造技術,可用于制造32nm和28nm掩膜。
本文引用地址://tjguifa.cn/article/93871.htm該公司稱,這些掩膜在日本Asaka工廠制成,通過了IBM的認證。
Toppan從45nm節點就開始和IBM合作,去年雙方簽署了32nm掩膜技術的最后階段的合作協議,以及22nm掩膜的合作開發協議。
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