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聯電公布技術發展圖 質疑450mm晶圓可行性

作者: 時間:2008-06-18 來源:EETimes

  在設計自動化會議(DesignAutomationConference,DAC)上,臺灣代工廠商(UMC)公布了公司的工藝發展路線圖,并宣布與領域形成聯盟關系。
 
  與代工龍頭廠商臺積電(TSMC)不同,全球第二大代工廠商(UMC)表示,不開發下一代技術。

本文引用地址://tjguifa.cn/article/84406.htm

  的65nm技術已啟動了一段時間,公司將立即進入45nm和40nm節點。其競爭對手臺積電也正在將高k金屬柵方案用于32nm節點。

  聯電的45/40nm工藝采用多層金屬、銅互連和超低k介質等技術。在該節點,k系數約為2.5,而65nm節點上該數字為3.0。

  同時聯電將采用沉浸式光刻技術。45/40nm工藝預計在今年底進入初產階段。

  聯電在32nm節點的研發上也從未停下腳步,預計將在2010年底發布,該工藝將采用高k金屬柵技術。聯電拒絕透露詳細信息。

  聯電預計將在Fab12300mm工廠投入45/40nm工藝,該工廠位于臺灣臺南。從目前來看,聯電還為推進廠,而其競爭對手臺積電,以及英特爾和三星正在推行廠,預計將在2012年完成。

   “目前,450mm還不是一項激動人心的技術。”聯電副總裁李俊(LeeChung)說道,“在300mm技術中,還有許多改善生產效率的事情可以做。”

  當被問及是否認為450mm會在2012年出現時,李俊說道:“我不相信。”他表示,真正面臨挑戰的是設備制造商,他們對進入450mm世代沒有太大的興趣。

  聯電還公布了一些和廠商聯盟的策略。Cadence和聯電公布了基于CommonPowerFormat的低功耗設計參考流程,針對聯電的65nm工藝。

  Synopsys和聯電也發布了低功耗設計參考流程,支持聯電的65nm工藝。新流程包括基于UnifiedPowerFormat標準的RTL-to-GDSII設計功能。

  Magma和聯電也公布了基于聯電65nm工藝庫的低功耗RTL-to-GDSII設計流程。

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