市場調研機構VLSIResearch近日公布了2008十佳半導體設備廠商。今年獲得工藝診斷設備廠商、小型晶圓處理設備廠商和大型晶圓處理設備廠商各個類別桂冠的分別是KeithleyInstruments、SENCorporation和VarianSemiconductor。

　　本次調查結果是來自對芯片制造商4565次調查，受訪制造商的產量總和約占全球產量的95％。每家設備供應商在13項指標中進行排名，包括設備性能和客服等。以下是十佳供應商排名：

　　工藝診斷設備供應商

　　在工藝診斷設備供應商中，長期入圍前十的KeithleyInstruments和AgilentTechnologies分列第一第二。排在首位的Keithley幾乎獲得了滿分，13項指標中有11項排在首位，表現最出色的是設備運行時間這項。

　　工藝診斷設備供應商的優勢在于設備性能，十佳廠商在設備運行時間、有效吞吐量和結果質量等指標都獲得了最高得分。

　　小型晶圓處理設備廠商

　　SENCorporation在客戶滿意度上獲得了第一，該公司在5個指標上獲得了最高排名，零部件支持和技術領導力得分最高。

　　大型晶圓處理設備供應商

　　VarianSemiconductor在大型晶圓處理設備供應商中拔得頭籌。在13項指標中，11項獲得了最高排名，其中結果質量得分最高。Novellus排在第二，在擁有者成本方面獲得最高分。技術領導力排名第一的是ASML，總排名排在第三。TokyoElectron和Ulvac分列第四第五。

　　以下是2007年這三份榜單的排名：

　　此次受訪的芯片制造廠商分布在北美、歐洲、中國大陸、韓國、中國臺灣、日本等地，所占比例如下圖所示：