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TI攜手Ramtron合作將FRAM技術提升至130nm工藝

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作者: 時間:2007-03-29 來源:
  德州儀器公司和 Internaonal Corporation 宣布:在 FRAM 技術發展中的創新里程碑,針對 FRAM 達成了商用制造協議。該協議許可  的 FRAM 產品在  先進的 130 納米 (nm) FRAM 制造工藝中生產包括  的 4Mb FRAM  (詳情另見新聞稿)。Ramtron 和德州儀器自 2001年 8 月開始合作,當時雙方簽訂定了 FRAM 的許可授權和開發協議。

  Ramtron 首席執行長 Bill Staunton 稱:“這項制造協議標志著高密度 FRAM產品的商業化發展向前邁進了一大步。Ramtron 將從德州儀器公認及先進的130nm 工藝技術和先進的制造能力,和高密度的獨立 FRAM 存儲器中獲益。除了 4Mb 器件外,在 2007 年內,我們還計劃使用德州儀器的產品線中提供至少一種以上的產品樣品。”

  德州儀器的先進 FRAM 工藝

  為了創建嵌入式 FRAM 模塊,德州儀器在其標準的 130nm 銅互連工藝中添加了僅僅兩個額外的掩模步驟。通過轉向 130  
nm 工藝,兩家公司將使用目前最小的商用 FRAM 單元 (僅 0.71um2),提供 Ramtron 的 4Mb FRAM 存儲器,并且獲得較 SRAM 單元更高的存儲密度。為了實現這種單元尺寸,該工藝使用了創新的 COP (capacitor-over-plug) 工藝,將非易失性電容直接堆放在 W 型插入晶體管觸點之上。

  FRAM 存儲器將易失性 DRAM 的快速存取和低功耗特點與不需要電能保存數據的能力結合起來。EEPROM 和閃存等其它非易失性存儲器由于必需以多個掩模步驟、更長的寫入時間及更多的功耗來寫入數據,因此對于嵌入式應用不太合適。此外,FRAM 的小單元尺寸和增加最少的掩模步驟特點,使到面向嵌入式應用的 FRAM 可以低于 SRAM 的成本生產。FRAM 所消耗的功率亦較 MRAM 低很多,并且已在要求嚴格的汽車、測量、工業及計算等應用中實現商業化應用。

  Moise 博士續稱:“FRAM 具有快速存取、低功耗、小單元尺寸,以及實惠的制造成本等特點,這意味著它適于廣泛的應用。對于那些需要低功耗、非易失性存儲、關機前快速數據保護,以及無限寫入耐久性等的系統而言,將可從 FRAM 的功能中獲益良多。” 

  FRAM 的工作原理

  FRAM 技術的核心是將微小的鐵電晶體集成進電容內,使到 FRAM 產品能夠象快速的非易失性 RAM 那樣工作。通過施加電場,鐵電晶體的電極化在兩個穩定狀態之間變換。內部電路將這種電極化的方向感知為高或低的邏輯狀態。每個方向都是穩定的,即使在電場撤除后仍然保持不變,因此能將數據保存在存儲器中而無需定期更新。

  德州儀器利用 COP 方式制作了平面型 FRAM 單元,將單元的面積降至最小,并且利用銥電極和鋯鈦酸鉛 (PZT) 鐵電薄膜層來形成鐵電電容。


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