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諾發推出業界首套UVTP量產系統

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作者: 時間:2006-01-30 來源:
系統有限公司推出了SOLA™—業界首套針對先進介電薄膜的淀積后處理的紫外熱處理()系統。它是實現晶體管水平高應力氮化硅薄膜和互連層致密性或多孔性低–k介電材料等許多先進薄膜應用的關鍵設備,結合了紫外光與熱處理相,使薄膜材料的淀積后處理可在450

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