諾發推出業界首套UVTP量產系統 —— 作者: 時間:2006-01-30 來源: 加入技術交流群 掃碼加入和技術大咖面對面交流海量資料庫查詢 諾發系統有限公司推出了SOLA™—業界首套針對先進介電薄膜的淀積后處理的紫外熱處理(UVTP)系統。它是實現晶體管水平高應力氮化硅薄膜和互連層致密性或多孔性低–k介電材料等許多先進薄膜應用的關鍵設備,結合了紫外光與熱處理相,使薄膜材料的淀積后處理可在450 量產系統 諾發 評論 我來說兩句…… 驗證碼: 相關推薦 諾發在亞洲新增高層管理職位以適應市場 諾發 | 2005-10-13 諾發推出300mm VECTOR等離子增強化學氣相沉積平臺的最新增強版本 300mm VECTOR 單片機 等離子 化學氣相沉積平臺 諾發 嵌入式系統 最新增強版本 等離子顯示 PDP | 2007-03-23 諾發推出市場認可最快的GAMMA Express 系統 消費電子 諾發 GAMMA® Express™系統 | 2007-08-03 諾發 (NOVELLUS) 300 毫米設備在中國市場的銷量突破 100 臺大關 EDA/PCB 諾發 | 2008-03-24 諾發推出介電材料處理UVTP系統 物聯網與傳感器 諾發 | 2005-12-08 諾發在臺積電供應鏈管理論壇上獲得優秀供應商獎 NOVELLUS 單片機 供應鏈管理論壇 諾發 嵌入式系統 臺積電 優秀供應商獎 | 2006-11-21 諾發公司榮獲臺積電頒發的最佳產品獎 EDA/PCB 諾發 臺積電頒 最佳產品獎 | 2006-01-23 諾發推出業界首套UVTP量產系統 物聯網與傳感器 UVTP 量產系統 諾發 | 2006-01-30 2008年復旦-諾發國際銅互連及相關技術研討會最佳研究生論文競賽正式展開 復旦 諾發 銅互連 競賽 IC 制造制程 | 2007-10-22 諾發宣布推出VECTOR Extreme™等離子(PECVD)系統 諾發 VECTOR Extreme 等離子 消費電子 | 2007-08-03 上一篇:達諾爾公司通過ISO雙認證審核 下一篇:蘇威與蘇州電子材料廠設雙氧水合資公司
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