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復旦-諾發互連研究中心將贊助最佳研究生論文競賽

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作者: 時間:2007-12-12 來源:電子產品世界

  有限公司宣布舉辦第一屆復旦-諾發國際銅互連技術研討會最佳研究生論文競賽。

  由復旦-諾發互連研究中心贊助的最佳研究生論文競賽將在復旦-諾發國際銅互連技術研討會期間舉行,此項每年春季舉行的競賽將為在校研究生、研究人員以及全球半導體專業人士提供一個討論新型的、令人振奮的半導體制造技術的平臺。同時,此次競賽也標志著該研討會將進入第五屆。

  入選文章作者將獲得相應獎勵:獎項共設金獎一名、銀獎兩名、銅獎三名。

  復旦-諾發互連研究中心此次舉辦的2008 年研討會最佳研究生論文競賽的參賽領域包括:

  • 半導體制造和互連工藝中的新技術;

  • Cu/Low k 集成技術;

  • 面向45nm及以下技術節點的PVD/CVD/ALD擴散阻擋層和銅籽晶層;

  • CMP材料和制造技術;

  • 干法工藝(溝槽結構和雙鑲嵌工藝,干法刻蝕工藝,等離子體造成的損傷,等)

  • 先進介質材料(低介電常數介質,高介電常數介質,抗反射薄膜等)以及薄膜淀積工藝進展;

  • 先進電鍍技術;

  • 金屬化的可靠性研究;

  • 先進圖像轉移技術。

  諾發公司同中國大學的合作及其對中國學教育的支持可以回溯至 2003 年,就在這一年,諾發公司向捐贈了一套銅半導體制造設備,并且建立了復旦-諾發互連研究中心進行互連技術的研究。除研究和教學以外,從2004年起,該中心還成功地在舉辦每年一次的復旦-諾發國際銅互連技術研討會。

  關于學院

  于2002年成立于復旦大學學院 (SME)是復旦大學歷史悠久的微電子學專業和固態電子學專業的強強聯合。復旦大學微電子學在過去的二十年中取得了巨大的進步,并于 1988 年成為國家重點學科。1992 年,該學科建立起了 ASIC & System 國家重點試驗室。自組建以來,復旦大學微電子學院已經取得了諸多成就,并發展成為一所優秀的教育和研究機構,在很多領域都擁有豐富的經驗,例如:SoC 設計、IC CAD、新型半導體制造技術、結構和器件以及微電子機械系統。

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