MEMS產業聯盟最新報告: 微機電系統器件首次被廣泛用于消費電子設備中
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MEMS器件是一種整合了智能傳感器和半導體電路的微型機器，有利于提高多種電子系統的功能性、成本效益和靈活性。過去，在每顆晶圓上只能生產幾百個MEMS，而現在能夠制造幾千支MEMS，目前MEMS的銷售量已達到數百萬支。行業調查公司Yole D
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