國產主流集成電路核心設備首次實現批量銷售
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集成電路核心裝備“中國造”
集成電路產業的蓬勃發展為集成電路制造裝備帶來了巨大的市場空間。據了解，建一條集成電路生產線大概需投資數億美元到20億美元，其中70%-80%用于購買設備。而目前我國已建和在建的8英寸以上集成電路制造廠的核心設備完全依賴進口。
面對急速增長的市場，我國集成電路裝備制造業從生產規模、研發水平、投資強度以及人才聚集等方面都存在著很大差距，尚未形成可持續發展的產業規模。
科技部高新技術發展及產業化司司長馮記春表示，為了改變我國集成電路產業特別是裝備等核心技術受制于人的局面，“十五”期間，科技部根據國家重大戰略需求
，在863計劃中設立了“集成電路制造裝備”重大專項，重點研制集成電路制造設備的部分核心設備。
由北京市組織實施的“100nm 8英寸多晶硅刻蝕機和大傾角離子注入機”，短短3年多就完成了產品研制，并在大生產線進行了近一年的檢驗考核。考核過程完全按照國際化驗收標準。考核測試結論表明，國產刻蝕機與注入機的設備設計參數、硬件性能參數、工藝基本參數等設備技術指標達到國際同類130nm-100nm生產設備標準。與國外同類產品相比，我國自主研發的產品銷售價格要便宜20%左右。
馮記春稱，這兩種設備的技術水平基本與我國集成電路制造業主流技術水平同步。未來2-3年，我國集成電路制造業從180nm向130nm和90nm升級時有可能使用國產裝備，有助于扭轉我國集成電路制造裝備受制于人的局面，對我國集成電路制造裝備的自主創新能力和核心競爭力具有重要戰略意義。
企業為主體的創新模式
值得一提的是，“集成電路制造裝備”重大專項的研發采用以企業為主體，科研院所和高校共同參與的新型產學研結合模式。北京北方微電子公司和北京中科信公司分別承擔刻蝕機和注入機項目。這種“以企業為主體、市場為導向，以實現產業化為目標、產學研相結合”的技術路線顯然取得了成效。
在3年多研發過程中，參與單位認真分析國際專利，注重知識產權保護，初步構建起自主知識產權保護體系，培養了一支創新團隊。不僅如此，該專項在集成資源、改革成果考核驗收機制和引入第三方監理等方面也做了有益探索。
此次采購合同由北方微電子公司和中科信公司分別與我國最大的集成電路代工廠中芯國際公司簽訂。這是國內集成電路設備企業第一次成為主流生產廠的供應商，實現了我國集成電路制造裝備的重大技術跨越。
真正實現產業化尚需努力
據了解，一條集成電路生產線有近200種設備，僅前道工序的關鍵設備就有20多種，其中最為關鍵的核心設備有7種。雖然我國在刻蝕機和注入機兩種高端核心設備產業化方面取得重大突破，但所涉及的面還很有限。
專家認為，要想真正實現國產集成電路裝備的產業化，必須提高基礎工業的加工、制造和材料等技術水平。沒有相應產業鏈的支撐，集成電路裝備的發展將受到很大限制。
集成電路裝備制造業涉及材料、工藝、化學試劑等多個科技領域的最新成就，目前我國在這些方面與國外有很大差距。專家建議，要想形成國產集成電路裝備產業集群，急需加強研發水平。
國家中長期科技發展規劃綱要已確定“十一五”期間實施“集成電路制造裝備與成套工藝”重大專項，此次國產集成電路核心設備產品實現批量銷售，為該重大專項的實施奠定了基礎。
據預測，到2010年，我國集成電路產業投資累計將達到3500億元，其中大部分將用于集成電路制造裝備。這一趨勢使得中國市場正在成為全球集成電路制造裝備業競爭的焦點。
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