DEK工具實現高速的25μm晶圓背面涂層工藝
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作者:
時間:2006-08-24
來源:www.ednchina.com
傳統的點膠方法和裸晶粘著工藝一直面對著生產方面的難題,如無法達到新的UPH (每小時單元) 速度要求;或由于芯片貼合周邊帶狀成形 (fillet formation)、樹脂滲出所導致的芯片尺寸的限制,以及膠層覆蓋不足或不均勻引發的固有品質和可靠性問題。DEK的印刷系統能有效地解決這些問題,讓制造商采用高速度和高精度的印刷工藝來涂敷裸晶粘著材料,生成25μm (
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