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EEPW首頁 > EDA/PCB > 新品快遞 > 奧林巴斯推出可觀察IC圖案顯微鏡

奧林巴斯推出可觀察IC圖案顯微鏡

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作者：時間：2005-12-01 來源：

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　奧林巴斯將于2006年1月5日推出共焦掃描紅外激光顯微鏡（Confocal Laser Scanning Microscope）“LEXT OLS3000-IR”，能夠對FCB（Flip Chip Bonding，倒裝焊接）后的IC芯片圖案及其背面，以及MEMS內部結構進行詳細觀察。同時還可用作SiP（系統級封裝）技術的無損檢測工具。含稅價為1207萬5000日元。

　　利用老式紅外顯微鏡對IC芯片的背面等進行觀察時，根據芯片背面的研磨狀態，外部可見光會因芯片表面而發生散射，因而不易進行觀察。而LEXT OLS3000-IR由于使用了共焦掃描光學系統，因此能夠清楚地觀察到芯片背面聚焦的位置。平面顯示分辨率為1024

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